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本发明涉及一种基于(AlxGa1‑x)2O3材料MSM结构的紫外光电探测器及其制备方法，所述制备方法包括：选取c面蓝宝石作为衬底材料；利用Ga2O3和Al2O3在在所述衬底材料表面生长(AlxGa1‑x)2O3形成光吸收层；采用掩膜版在所述光吸收层表面形成不对称叉指电极，以完成所述MSM结构的紫外光电探测器的制备。通过这种制备方法，可以得到一种高Al组分的紫外光电探测器，从而会产生两个光学带隙，即对两个紫外光谱范围产生感应，有利于同一个探测器在两个光波波段的检测，提高紫外光电探测器的利用。

基于(AlxGa1-x)2O3材料MSM结构的紫外光电探测器及其制备方法

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