政策资讯

一种宽带可调谐太赫兹波吸收器的制作方法

专利类型:
申请号/专利号:
CN201810812741.8
申请人(专利权人):
王玥
行业类别:
技术成熟度:
公布时间:
证书状态:
授权
交易价格:
45000元
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摘要详情

技术摘要

权利要求书

技术附图

交易流程

委托经理人

本发明公开了一种宽带可调谐太赫兹波吸收器,包括掺杂半导体材料基体,掺杂半导体材料基体表面制作有一层微结构阵列,该微结构阵列包含若干均匀排列的微结构单元,该微结构单元能够响应THz波,所述微结构单元中还设计有矩形波导结构以增加吸收带宽,掺杂半导体材料基体为p型硅材料,掺杂浓度为~0.3×1017/cm3,半导体材料基体厚度为250~300μmm,电阻率为0.5Ω·cm,微结构单元为H型微结构单元,每个H型微结构单元相对几何中心上下、左右均对称,H型微结构单元厚度为53μm,本发明还公开了宽带可调谐太赫兹波吸收器的制作方法,本发明解决了现有技术中存在的太赫兹波器件体积较大、且带宽有限的问题。

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